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电弧离子镀TiN 和TiAlN 薄膜的机械性能研究

更新时间:2015-09-29

【摘要】采用电弧离子镀在高速钢表面沉积TiN和TiAlN薄膜,并比较两种薄膜的机械性能。为模拟实际生产情况,利用对外开展技术服务的机会,沉积薄膜同时在真空腔室内放置近1 000 支冲棒。

【关键词】

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